拓荆科技-国内PECVD设备龙头，受益国产替代加速-220513（27页）

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摘要：

有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。拓荆科技-U688072.SH公司研究|首次报告⚫国内PECVD龙头厂商，国际化研发团队助力发展。公司2010年成立，自成立至今一直专注于半导体薄膜沉积设备业务，主要产品包括PECVD设备、ALD设备和SACVD设备三个系列，目前公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备和SACVD设备厂商。公司的产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM芯片和64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线。以姜谦、吕光泉前后两任董事...

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