刻蚀设备:国产崛起可期待,工艺进步促需求(35页)

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摘要:

刻蚀设备:国产崛起可期待,工艺进步促需求长江证券机械研究小组分析师:赵智勇SAC执业证书编号:S0490517110001分析师:姚远SAC执业证书编号:S0490517070005分析师:臧雄SAC执业证书编号:S0490518070005联系人:倪蕤、曹小敏•研究报告•评级看好维持01什么是半导体刻蚀设备02市场格局:巨头垄断,国产可期03需求趋势:工艺进步推动需求向上04海外借鉴:高研发构筑内生增长什么是半导体刻蚀设备01刻蚀工艺通常位于光刻工艺之后图1:刻蚀工艺位于光刻工艺之后资料来源:《半导体制造技术》(中国工信出版集团、电子工业出版社,MichaelQuirk,JulianSerd...

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